高速掃描電子顯微鏡

簡要描述：國儀量子高速掃描電子顯微鏡HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。
面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

產(chǎn)品型號：HEM6000
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2026-02-11
訪問量：7344

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

PRODUCT

掃描電子顯微鏡

透射電鏡掃描電鏡SEM 查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

ARTICLES

高速掃描電子顯微鏡 HEM6000

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

核心技術(shù)

高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

應(yīng)用領(lǐng)域

高速掃描電子顯微鏡應(yīng)用案例

大規(guī)模成像

高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率		1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
			2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
	加速電壓		100 V~6 kV(減速模式)
			6 kV~30 kV(非減速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	電子槍類型		高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
	物鏡類型		浸沒式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng)	真空系統(tǒng)		全自動控制，無油真空系統(tǒng)
	樣品監(jiān)控		樣品倉監(jiān)控水平攝像頭；換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭
	樣品最大尺寸		直徑4英寸
	樣品臺	類型	電機驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺）
		行程	X、Y軸：110mm； Z軸：28mm；
		重復(fù)定位精度	X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm；
	換樣方式		全自動控制
	換樣時間		＜15 min
	換樣倉清洗		全自動控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理	駐點時間		10 ns/pixel
	圖像采集速度		2*100 M pixel/s
	圖像大小		8K*8K
探測器和擴展	標配		鏡筒內(nèi)混合電子探測器
	選配		低角度背散射電子探測器
			鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器
			壓電驅(qū)動樣品臺
			高分辨大場模式
			樣品倉等離子清洗系統(tǒng)
			6英寸樣品裝載系統(tǒng)
			主動減震臺
			AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件	語言		中文
	操作系統(tǒng)		Windows
	導(dǎo)航		光學導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
	自動功能		自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

上一篇：V-Sorb 2800TP比表面及孔徑分析儀
下一篇：SpinMag -Ⅰ量子自旋磁力儀

高速掃描電子顯微鏡

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：